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共同利用機器詳細(電界放射型走査型電子顕微鏡)

 

 12.  電界放射型走査型電子顕微鏡
管理研究室 真島・東研究室
管理者 真島 豊
管理補助者  真島 豊
設置場所  R3棟409号室
装置概要  日立ハイテクノロジー社製FE-SEM (SU-8000)
電子ビームを試料表面に小さく絞り、試料表面上を走査しながら試料から出てくる 2次電子などを 2次元画像として検出する.低照射電圧(0.1 kV〜)での観察を可能とするリターディング機能を搭載しており,試料の極表面情報を取得できる。またエネルギー分散X線検出器(EDX、HORIBA製)を搭載しており, 試料の定性分析,元素マッピングなどの簡易元素分析を行うことができる。
測定条件及び
利用可能範囲 
照射電圧:0.1~30 kV
二次電子像分解能:1.0 nm (加速電圧15 kV)
1.3 nm (照射電圧 1 kV)
B以上の元素分析
申込方法  依頼観察のみ受け付ける。
真島・東研究室のメールアドレスfe-sem@nanoele.msl.titech.ac.jpに連絡し、送付される観察申込書に記入の上、学内便にて真島・東研究室(R3-5)まで送付のこと。観察申込書の確認の後、観察の可否について連絡します。
試料条件  真空を汚染しない試料であること
(粉体、生物試料、揮発成分を含む試料は不可)。
磁性体試料は不可(セミインレンズ式のため)
絶縁性試料の場合は金属コーティングなどの処理を事前に施しておくこと
(スパッタコーターはありません)
試料サイズは4インチウェハまで対応可能
(リターディング機能を使う場合は10 mm x 10 mm 以上の試料である必要があります)
利用資格  講習会に出席した人,またはその同席が得られる人. 
利用料金  10,000円/1検体
その他注意事項  依頼の状況により測定結果の報告に時間がかかることがあります

 

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