高真空蒸着装置

  ※ 装置横にわかりやすいマニュアルがあります.ぜひ確認しながら実験しましょう.

  ※ 以下はマニュアルから,実験する際に必要な部分を取り出し,安全面からの注意点を加えたものです.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  V1MAIN VALVE

    V2BACKING VALVE

    V3ROUGHING VALVE

  V4:ベルジャーリークバルブ

  V5:ロータリーポンプリークバルブ

  D.P.:油拡散ポンプ

  R.P.:ロータリーポンプ

  PiG:ピラニーゲージ

  PeG:ペニングゲージ

  C.T.:冷却トラップ

 

 

 ☆ 真空操作 

1) 初期状態のチェック

   ※ V5バルブのみが開いている状態を確認

   ※ すべてのスイッチがoff,電流のスライダックが0になっていることを確認

2)  MAINスイッチをON

3V5Close方向いっぱいに回す.

4R.P.の電源を入れ,排気音が消えるまで待つ.

   ※ 最近,時間がかかるもよう

5V3を開けて十分真空引きしてからV2を開ける

6V1を開けて真空引き後,閉める.

   ※ V1バルブの空間に空気がたまっていることがある.

7) V2Open方向いっぱいに回す.

   ※ D.P.内をひいている状態

8) D.P.の冷却水を流す.

9) D.P.VACUUM GAUGEスイッチを入れ,D.P.が十分に温まるまで,約20分待つ

   ※ この間,次の10) 15)までの作業可能

   ※ ブザーが鳴った場合,D.P.の冷却水が流量不足である可能性がある.

10) 冷却トラップに液体窒素をあふれるまで入れる.

11) V4を回してリークし,ベルジャーを取りはずす.

12) 蒸着させたい金属(金など)を金属蒸着源(試料をセットする真上)にセットする.

   ※ 落としやすいので注意

   ※ 作業前にヒーターのスイッチがoffになっていることを再確認

13) スライドガラスにのせた試料を図1の位置にセットする.

14) 固定シャッターをセットする.(23参照)

 

 

 

 

 

 

 

15) ベルジャーをセットし,V4を閉じる.

16) V2Close方向いっぱいに回し,V3Open方向いっぱいに回す.

   ※ ベルジャー内を粗引している状態

17) ピラニ真空計表示灯MAIN VALVE READYが点灯するまで待つ.

   ※ 最近,かなり時間がかかるもよう.ピラニゲージが汚れている可能性あり.

     しばらく待って,真空度が上がればよい.

   ※ 点灯すると,10-1 Paのオーダーに達したことを示す.

18) V3Close方向いっぱいに回す.

19) V2Open方向いっぱいに回す.

20) V1Openにする.

   ※ 軽く手ごたえがあるところまで回す.

   ※ これにより,R.P.D.P.とベルジャーがつながり,高真空状態になる.

21) 各自,必要な真空度になるまで待ち,蒸着の手順に進む.

 

☆ 蒸着

1)       HEATERスイッチを入れる.

2)       HEATER SELECTIONスイッチを2にする.

     ※ 1:カーボン蒸着 2:金属蒸着

3)       固定シャッターが閉まっていることを確認する.

※ 試料面への不純物の付着防止のため.

   4) HEATER CONTROLをゆっくり回し(赤熱する程度),ヒーターに電流を流す.

     ※ 蒸着物質のガスを取り除くための予備加熱.

   5) 一度電流を0に戻し,12分待つ.

     ※ 蒸着物質のガス放出により,圧力が上昇しているので,圧力の低下を待つため.

   6) HEATER CONTROLをゆっくり回し(金の場合30A),シャッターを開け,蒸着する.

   7) 各自,必要な時間がたったら(必要な分,蒸着ができたら)HEATER CONTROLを戻し,HEATERのスイッチを切る.

     ※ これで表面の蒸着が終了.裏面の蒸着に進むまたは終了手順に進む.

 

  ☆ 試料の交換

   1) V1Closeにする.

   ※ 軽く手ごたえがあるところまで回す.

   ※ V3が閉じていることを確認した方がよい

   2) V4を回してリークし,ベルジャーを取りはずす.

   3) 試料を取り出し,アセトンをつけたJKワイパーなどを用いてベルジャー内を洗浄する.

     ※ きれいな手袋着用

     ※ ヒーター部分は熱いので,やけどに注意.

     ※ ベルジャーのカバーを割らないよう,取り扱いに注意する.

   4) 試料の交換(裏返す)を行う.

   5) 必要に応じて,金を金属蒸着源(試料をセットする真上)にセットする.

   6) 【☆真空操作の14以降,☆蒸着操作】を繰り返す.

 

 

  ☆ 終了手順

   1) V1Closeにする.

   ※ 軽く手ごたえがあるところまで回す.

   2) D.P.およびVACUUM GAUGEスイッチを切る.

     ※ D.P.が冷えるまで,D.P.内を排気し続ける.(V2のみ空いている状態)

   3) V4を回してリークし,ベルジャーを取りはずす.

   4) 試料を取り出す.

   5) アセトンをつけたJKワイパーなどを用いてベルジャー内を洗浄する.

     ※ ヒーター部分は熱いので,やけどに注意.

     ※ ベルジャーのカバーを割らないよう,取り扱いに注意する.

 6) ベルジャーをセットし,V4を閉じる.

   7) D.P.が冷えたことを触って確認し,V2を閉め,V3を開け,ベルジャー内を粗引きする.

     ※ ベルジャー内は使用の有無に関わらず真空に保つ.

   8) D.P.の冷却水を止める.

   9) V3を閉める.

   10) R.P.を止める.

   11) V5を開け,R.P.をリークする.

     ※ この操作を怠ると,R.P.のオイルが逆流し,排気管が汚れてしまうので,注意.

   12) MAINスイッチをOFFにする.

 

 

 

 

 

 

 

製作 Ver.1.1 吉田 隆弘(2006)