Tokyo Institute of Technology
Kamiya-Katase Group

  • Hosono-
    Kamiya Gr.
  • Japanese

Fabrication

MBE
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PLD
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PLD (Pnictide)
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PLD (Pnictide)#2
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PLD (Chalcogenide)
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PLD (Oxide)#1
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PLD (Oxide)#2
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PLD (Oxide)#3
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PLD-MBE Composite
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EB deposition#1
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EB deposition#2
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Res.-heating evaporation
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UHV Sputtering
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Sputtering (IGZO)
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Sputtering (metal electrodes)
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Excimer laser (KrF, ArF)
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High-power Nd:YAG laser
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Dry etching
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Mask aligner
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Spin coater
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EB lithography
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Ozone cleaner
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High-speed furnace
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Muffle furnace
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High-T furnace
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Tube furnace
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IR heating system
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Rapid thermal annealing
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UHV annealing system
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Supercritical CO2 processing
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CMP
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Wire bonder
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Globe box
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CIP
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SPS
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Ball milling
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Lapping&Polishing
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