東京工業大学 フロンティア材料研究所
神谷・片瀬 研究室

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Fabrication

分子線エピタキシー装置
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パルスレーザー堆積(PLD)装置
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ニクタイド用PLD装置1号機
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ニクタイド用PLD装置2号機
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カルコゲン用PLD装置
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酸化物用PLD装置1号機
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酸化物用PLD装置2号機
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酸化物用PLD装置3号機
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窒化物用PLD-MBE複合成膜装置
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電子線蒸着装置
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電子線蒸着装置2号機
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抵抗加熱蒸着装置
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超高真空スパッタリング装置
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スパッタリング装置
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メタル電極用スパッタリング装置
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エキシマレーザー
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高出力Nd:YAGレーザー
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ドライエッチング装置
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マスクアライナー
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スピンコーター
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電子線リソグラフィー
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オゾン洗浄装置
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高速昇温炉
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ボックス炉
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高温ボックス炉
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管状炉
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赤外線ゴールドイメージ炉
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赤外線高速熱処理装置
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超高真空加熱処理装置
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超臨界CO2処理装置
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化学機械研磨機
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ワイヤボンダー
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グローブボックス
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ターゲット成形用加圧装置
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プラズマ焼結装置
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ボールミル
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各種研磨加工装置
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