東京工業大学 フロンティア材料研究所
神谷・片瀬 研究室

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Fabrication

電子線蒸着装置
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分子線エピタキシー装置
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パルスレーザー堆積(PLD)装置
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ニクタイド用PLD装置
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カルコゲン系用PLD装置
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超高真空スパッタリング装置
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スパッタリング装置
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ドライエッチング装置
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マスクアライナー
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高速昇温炉
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自作管状炉
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化学機械研磨機
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ワイヤボンダー
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グローブボックス
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ターゲット成形用加圧装置
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プラズマ焼結装置
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ボールミル
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超高真空加熱処理装置
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超臨界CO2処理装置
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