216th MSL Lecture (Prof. Uraoka, NAIST)
| Date/Time | 2012/03/12 14：00-16：00 |
|---|---|
| Place | Meeting Room (R3 Building 1F) |
| Organizer | Materials and Stracture Laboratory |
| Contact | Prof. Kamiya (extension:5357) |
| Remarks | This lecture is held in only Japanese |
Subject & Detail
216th MSL Lecture
Lecturer: Yukiharu Uraoka (Professor, Nara Institute of Science and Technology)
Subject (Japanese Only): バイオの技術が拓く新しい半導体プロセス・デバイス技術
Summary(Japanese Only):
タンパクなどに代表される生体超分子は、ナノスケールのサイズをもち、また、さまざまな形を持ち合わせている。すなわち、生物の世界には、ナノスケールの豊富な材料がすでに存在している。そこで、我々は、このナノスケールの生体超分子や性質をうまく利用して、新しい半導体プロセスやデバイス構造を創りだそうという“ボトムアップ”プロセスを提案している。バイオの技術と半導体加工技術を融合したこのような研究を、“バイオナノプロセス”と呼んで、新しい領域を開拓している。
タンパクなどに代表される生体超分子には、無機材料にはない、非常に魅力的な特長が数多くある。それらを列挙すると
（1） ＤＮＡを設計図として構成されているために、組織や構造にばらつきが少ない。
（2） 自分で形を作り上げる“自己組織化機能”を持つ。
（3） 内部や外部に無機材料を結晶化するバイオミネラリゼーション機能をもつ。
など、枚挙にいとまがない。ここに挙げた特徴は、現在の半導体プロセスにおいて、ナノ構造を安くで、再現性良く、歩留まりを高く作り上げるのに必要なことばかりである。また、これまでの半導体分野になかった新たな構造を作り上げられる可能性をも秘めている。まさに、限界に達した半導体加工技術の救世主となる技術になると思われる。
