共同利用機器詳細（29）X線光電子分光分析装置
| （29）X線光電子分光分析装置 | |
| 管理研究室 | 原・石川研究室 |
| 管理者 | 原 亨和 |
| 管理補助者 | 服部 真史 |
| 設置場所 | R3棟209号室 |
| 装置概要 |
Kratos製ESCA3200 (SHIMADZU) 本装置は固体物質の表面組成と化学状態を分析する装置である。比較的低真空度で測定を行うことができるため，酸化物粉末の試料など絶縁性物質でもチャージアップを低減しつつ測定することが可能である．また，Arグローブボックスから試料を導入することができることから還元処理後，反応後のサンプルの測定を大気に曝露すること無く行うことができる。 |
| 測定条件及び利用可能範囲 |
X線：Mg Kα フィラメント電流値:30 mA 電圧： 5-8 kV |
| 通常の使用範囲 |
キャリブレーション用ピーク：Au4f7/2, C1s 前処理系：室温−300°C程度,水素雰囲気での処理が可能 |
| 申込方法 | 原・石川研究室 服部（hattori.m.aj@m.titech.ac.jp）に予め連絡後、管理 補助者と日程調整を行う。 |
| 利用日時 | 基本的に24時間 |
| 試料条件 |
薄膜，固体，粉末． いずれも10−6Pa程度の真空下で気体成分を飛散しない物質に限る． |
| 利用料金 | 1年間に要した消耗品、定期点検費、フィラメント、修理代を集計して、使用時間により徴収予定。 |
| 注意事項 |
初回は必ず管理補助者からの講習を受ける．装置の使用状況はログノートに全て記載． Arグローブボックス，前処理系を使用の際には別途相談． |
