共同利用機器詳細（15）電界放出形走査電子顕微鏡
| （15）電界放射型走査型電子顕微鏡 | |
| 管理研究室 | 真島・伊澤研究室 |
| 管理者 | 真島 豊 |
| 管理補助者 | |
| 設置場所 | R3棟409号室 |
| 装置概要 |
日立ハイテクノロジー社製 FE-SEM (Regulus 8230) 電子ビームを試料表面に小さく絞り、試料表面上を走査しながら試料から出てくる 2 次電子などを 2 次元画像として検出する．低照射電圧（0.1 kV〜）での観察を可能とするリターディング機能を搭載しており，試料の極表面情報を取得できる。またエネルギー分散 X 線検出器（EDX、Oxford 製）を搭載しており，試料の定性分析，元素マッピングなどの簡易元素分析を行うことができる。 |
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測定条件及び 利用可能範囲 |
照射電圧：0.1~30 kV 二次電子像分解能：0.7 nm (照射電圧 1 kV) Li 以上の元素分析 |
| 申込方法 |
依頼観察のみ受け付ける。 真島研究室のメールアドレスfe-sem@nanoele.msl.titech.ac.jpに連絡し、送付される観察申込書に記入の上、学内便にて真島・東研究室(R3-5)まで送付のこと。観察申込書の確認の後、観察の可否について連絡します。 |
| 試料条件 |
真空を汚染しない試料であること (粉体、生物試料、揮発成分を含む試料は不可)。 磁性体試料は不可(セミインレンズ式のため) 絶縁性試料の場合は金属コーティングなどの処理を事前に施しておくこと (スパッタコーターはありません) 試料サイズは 4 インチウェハまで対応可能 (リターディング機能を使う場合は 10 mm x 10 mm 以上の試料である必要があります) |
| 利用料金 | 10,000円/１検体 |
| その他注意事項 | 依頼の状況により測定結果の報告に時間がかかることがあります |
